- 技術參數
Technical parameters
- 實驗案例
Experimental cases
- 應用提示
Application Tips
- 配件詳情
Accessory Details
恒壓控制系統-CZK- PID-VRD24/G2K-PID-103G .
主要特點
PLC觸摸屏控制， 觸摸屏顯示真空度及各項工作狀態， -鍵式操作, 方便快捷。
通過變頻:器來P ID調節真空泵的電機轉速從而控制抽氣速率,使抽氣速率與進氣量、漏氣率相匹配,從而達到精確的恒壓控制。
600*600m的承重臺面，可配合科晶管式爐使用，節約空間。
滾輪上裝有制動裝置，提高安全性。
基本參數
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GZK-PID-VRD24 |
GZK-PID-103G |
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輸入電源 |
208-240VAC，單相，50/60Hz |
208- 240VAC，單相，50/60Hz |
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功率 |
1000 |
1200 |
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抽速 |
6. 6L/S |
6.6L/s、110L/s |
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極限真空度 |
3*10-4 torr (不帶負載) |
≤4. 5*10-7 torr (不帶負載) |
真空測量單元
型號: PGC-554-LD
測量范圍: 3. 8E-5-1125 Torr
真空泵系統
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機械泵 |
分子泵(GZK-PID-103G) |
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機械泵型號: VRD-24 |
分子泵型號: FF100/110 |
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進氣口: KF25 |
抽速: 110L/S |
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工作環境溫度: 5-40C |
啟動壓強:0.75 torr |
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噪音:≤58 dB |
額定轉速: 42300 rpm |
壓力恒定控制系統
壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣) :
760mtorr ( 100Pa) -225torr ( 3000Pa) ( 按照進氣量為500sccm)
600mtorr (80Pa) -200torr ( 26660Pa) ( 按照進氣量為300sccm)
300mtorr ( 40Pa) -185torr ( 24660Pa) (按照進 量為100ccm)
180mtorr ( 24Pa) -100torr ( 1333Pa) ( 按照進氣量為50sccm)
壓力恒定控制精度:
180mtorr-2. 5torr ( 土%10)
>2. 5torr- 10torr (土%40)
>10 torr -200torr (土%5)
產品尺寸
L 600mm x W 745mm x H 700mm
產品重量
GZK- PID-VRD24,約40Kg
GZK- PID-103G, 約80Kg
認證
通過cE認證
若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國τσ認證或CAS認證。
質保
一年質保，終生維護
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