<dd id="0wuoo"><pre id="0wuoo"></pre></dd>
  1. <em id="0wuoo"></em>

    <tbody id="0wuoo"></tbody>
      首頁 >> 測試設備  >>  薄膜檢測設備  >>  膜厚監測儀
      推薦產品 實驗室電爐 真空燒結爐 工業爐 環境試驗設備 其它試驗設備

      < >

      膜厚監測儀

      產品型號:EQ-TM106
      產品品牌:上海升利
      產品概述:
      EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。

      主要特點

      本機可與計算機連接。

      顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM
      控制輸出的百分比等工作狀態。

      通過軟件或顯示儀可對門]控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置,并可將所測相關數據寫入Excel文件。

      具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。


      EQ-TM106-1監測組件

      電源: DC5V (土10%),最大電流400mB
      頻率分辨率:土0. 03Hz
      膜厚分辨率: 0. 0136A (鋁)
      膜厚準確度:士0. 5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度
      測量速度: 100ms-1s/次, 可設置
      測量范圍: 500000 (鋁)
      標準傳感器晶體: 6MHz
      計算機接口: RS-232/485串行接口( 波特率1200、2400、 4800、9600、 19200、 38400可設置, 數據位: 8,停止位: 1,校驗:無)模擬輸出: 8比特分辨率, PWmM脈寬調制輸出(集電極開路或內部5v輸出)
      工作環境:溫度0-50C,濕度5%- -85%RH,不得有冷凝水珠
      外形尺寸: 90mmX 50mmX 18mm


      EQ-TM106-2顯示

      輸入電源: AC 220V+10%
      輸出電源: DC5V 3A
      顯示器: 12X 2數碼管與LED

      通訊端口: RS -485 (波特率1200、2400、 4800、 9600、 19200、 38400可設置, 數據位: 8位,停止位: 1位, 奇偶校驗:無)

      外形尺寸: 182mX 65mmX 160mm


      EQ-TM106- 3探頭

      適用晶片頻率: 6MHz
      適用晶片尺寸:中14mm
      安裝法蘭: CF35
      冷卻水管:中3mm,長度300mm、500mm、 1000mm
      冷卻水壓: <0. 3MPa
      氣動擋板路管:中3mm
      壓縮空氣壓力:
      烘烤溫度:通水狀態<200C,不通水狀態法蘭<100C
      電氣接口: BCN插座

      標準配件
      1EQ- -TM106-1監測組件1個2EQ-TM106 -2顯示儀1臺3EQ -TM106- -3探頭1個

      質保期
      一年質保期,終身維護
      0

        李總:138-1739-9656

      微信掃一掃

      欧美日韩在线旡码视频一区